严格来说，VPSA（低压吸附真空解吸）制氧是PSA制氧的另一种“变体”，他们的制氧原理几乎一致，都是利用分子筛对不同气体分子“吸附”能力将气体混合物分离开来，但PSA制氧的是通过加压吸附，常压解吸来分离出氧气，VPSA制氧则是在真空条件下对吸附饱和的分子筛进行解吸。

虽然，二者都是以空气为原料，制氧原理也大同小异。但仔细对比而言，还是有以下区别；

1、VPSA制氧机是用鼓风机来获取原料空气并增压，而PSA制氧机是使用空压机来进行供气。

2、在核心组成部分——沸石分子筛的选择上，PSA制氧机使用的是钠分子筛，VPSA制氧机使用的是锂分子筛。

3、PSA制氧机的吸附压力通常有0.6~0.8Mpa，VPSA制氧机的吸附压力是0.05Mpa。

4、PSA单机产气量可以达到200~300Nm³/h，VPSA单机产气量可以达到7500~9000Nm³/h。

5、VPSA相对于PSA而言，能耗低（生产每方氧气的电耗≤0.5 kW），更加环保，绿色。

VPSA制氧机虽然单机制氧量大，但其不足之处在于系统设备相对复杂，设备体积也较大（比深冷装置还是要小一些），配套共用工程条件要求较多，会占用较大空间，且无法做成集装箱形式制氧设备，需要现场安装、调试；单从这一点上，PSA还是具有一定优势的。